Efeito de bolhas e de transporte na morfologia do silício corroído anisotropicamente.
Esta tese descreve um estudo da corrosão anisotrópica do silício monocristalino em solução de KOH. As superfícies sendo corroídas foram observadas em tempo real com um vídeo-microscópio, e foram medidos parâmetros Tb e Ram de bolhas produzidas na reação para correlacionar com a respectiva rugosidade...
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Format: | Others |
Language: | Portuguese |
Published: |
Instituto Tecnológico de Aeronáutica
2001
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Online Access: | http://www.bd.bibl.ita.br/tde_busca/arquivo.php?codArquivo=2557 |