Estudo teórico e experimental sobre uma descarga R.F. acoplada indutivamente

• Main Author: Jayr de Amorim Filho
• Other Authors: Homero Santiago Maciel
• Format: Others
• Language: Portuguese
• Published: Instituto Tecnológico de Aeronáutica 1989
• Subjects: Descargas elétricas; Plasmas (Física); Física de plasmas; Física
• Online Access: http://www.bd.bibl.ita.br/tde_busca/arquivo.php?codArquivo=1478

Neste trabalho são apresentados os resultados de investigações realizadas em uma descarga de rádio-frequência acoplada indutivamente, operando na faixa de pressão de 1 mtorr a 200 mtorr de argônio, com potências de 50 W a 400 W e frequência de 11,41 MHz. Inicialmente foi feito um estudo da ruptura do gás seguido da análise de um modelo teórico para a descarga. Dois modos de operação da descarga foram identificados, modo E e modo H. Através de sonda simples e sonda dupla caracterizamos as propriedades da descarga operando nos distintos modos. A transição entre os modos da descarga foi caracterizada através de curvas de variação da temperatura de elétrons e densidade de plasma em função da pressão do gás e potência de RF.