Estudo teórico e experimental sobre uma descarga R.F. acoplada indutivamente
Neste trabalho são apresentados os resultados de investigações realizadas em uma descarga de rádio-frequência acoplada indutivamente, operando na faixa de pressão de 1 mtorr a 200 mtorr de argônio, com potências de 50 W a 400 W e frequência de 11,41 MHz. Inicialmente foi feito um estudo da ruptura d...
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| Format: | Others |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
Instituto Tecnológico de Aeronáutica
1989
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| Online Access: | http://www.bd.bibl.ita.br/tde_busca/arquivo.php?codArquivo=1478 |