Oberflächenmodifikation von Si(001) mittels Se
Im Rahmen dieser Diplomarbeit wurden Si(001)-Oberflächen mit Selen modifiziert und anschließend charakterisiert. Die Herstellung der Selenpassivierungsschichten wurde in einer MBE-Anlage durchgeführt. Die Charakterisierung erfolgte durch RHEED-, LEED- und RBS-Untersuchungen.
Main Author: | |
---|---|
Other Authors: | |
Format: | Dissertation |
Language: | deu |
Published: |
Universitätsbibliothek Chemnitz
2005
|
Subjects: | |
Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200501676 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200501676 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5089/data/diplom_M_Kutzer.pdf http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5089/20050167.txt |