Untersuchungen zur Sensibilisierung von Glasoberflächen mit Zinkoxid für das electroless plating von Nickel-Phosphor-Schichten unter besonderer Beachtung des Einsatzes derartiger Metallschichten als Elektroden in elektrochemischen Sensoren
In der Halbleitertechnik, wie auch in der chemischen Sensorik werden Metallstrukturen mit geringen Strukturbreiten auf Substratoberflächen mit sehr niedriger mittlerer Rauhtiefe (wie Glas bzw. polierten Siliziumeinkristallen) benötigt. Die für diesen Zweck industriell angewandten Verfahren sind solc...
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| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | deu |
| Published: |
Technische Universitaet Bergakademie Freiberg Universitaetsbibliothek "Georgius Agricola"
2009
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:105-5267022 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:105-5267022 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/2084/ChemieReineckeMatthias_Peter526702.pdf |