Elektrische und mikrostrukturelle Effekte in hochdotiertem 6H-SiC nach Ionenimplantation

Elektrische und mikrostrukturelle Effekte in hochdotiertem 6H-SiC nach Ionenimplantation

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Bibliographic Details
Main Author:	Wirth, Hans
Other Authors:	Forschungszentrum Rossendorf, Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung
Format:	Others
Language:	deu
Published:	Forschungszentrum Dresden 2010
Online Access:	http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-30566 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-30566 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/3056/1364.pdf

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