Elektrische und mikrostrukturelle Effekte in hochdotiertem 6H-SiC nach Ionenimplantation

Elektrische und mikrostrukturelle Effekte in hochdotiertem 6H-SiC nach Ionenimplantation

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Bibliographic Details
Main Author: Wirth, Hans
Other Authors: Forschungszentrum Rossendorf, Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung
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Published: Forschungszentrum Dresden 2010
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spelling ndltd-DRESDEN-oai-qucosa.de-bsz-d120-qucosa-305662013-01-07T19:52:56Z Elektrische und mikrostrukturelle Effekte in hochdotiertem 6H-SiC nach Ionenimplantation Wirth, Hans Forschungszentrum Dresden Forschungszentrum Rossendorf, Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung 2010-03-31 doc-type:report application/pdf http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-30566 urn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-30566 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/3056/1364.pdf Forschungszentrum Rossendorf; FZR-236 deu dcterms:isPartOf:Wissenschaftlich-technische Berichte ; FZR-236
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