Entwicklung und Relaxation mechanischer Spannungen in Bornitrid-Schichten

Entwicklung und Relaxation mechanischer Spannungen in Bornitrid-Schichten

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Main Author: Fitz, C.
Other Authors: Forschungszentrum Rossendorf, Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung
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Language:deu
Published: Forschungszentrum Dresden 2010
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