Erarbeitung eines Raumtemperatur-Waferbondverfahrens basierend auf integrierten und reaktiven nanoskaligen Multilagensystemen
Die vorliegende Arbeit beschreibt einen neuartigen Fügeprozess, das sogenannte reaktive Fügen bzw. Bonden. Hierbei werden sich selbsterhaltene exotherme Reaktionen in nanoskaligen Schichtsystemen als lokale Wärmequelle für das Fügen unterschiedlichster Substrate der Mikrosystemtechnik verwendet. Das...
| Main Author: | |
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| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | deu |
| Published: |
Universitätsbibliothek Chemnitz
2014
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-132820 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-132820 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/13282/Dissertation_Joerg_Braeuer.pdf http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/13282/signatur.txt.asc |