Erarbeitung eines Raumtemperatur-Waferbondverfahrens basierend auf integrierten und reaktiven nanoskaligen Multilagensystemen

Erarbeitung eines Raumtemperatur-Waferbondverfahrens basierend auf integrierten und reaktiven nanoskaligen Multilagensystemen

Die vorliegende Arbeit beschreibt einen neuartigen Fügeprozess, das sogenannte reaktive Fügen bzw. Bonden. Hierbei werden sich selbsterhaltene exotherme Reaktionen in nanoskaligen Schichtsystemen als lokale Wärmequelle für das Fügen unterschiedlichster Substrate der Mikrosystemtechnik verwendet. Das...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Bräuer, Jörg
Other Authors: TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Format: Doctoral Thesis
Language:deu
Published: Universitätsbibliothek Chemnitz 2014
Subjects:
Magnetron Sputter Deposition
Nanoskalierte Multilayer
Selbstausbreitende exotherme Reaktionen
Pd/Al- und Ti/Si-Systeme
Waferbonden
Raumtemperaturbonden
Hochtemperaturlagerung
FEM-Simulation
Temperaturwechseltests
Hermetizität
Finite-Element-Methode
Nano scale multilayer
self-propagating exothermic reactions
Pd/Al- and Ti/Si-systems
waferbonding
room-temperature bonding
high temperature storage
FEM-simulation
temperature shock testing
hermeticity
ddc:620
Bonden
Exotherme Reaktion
Leckrate
Mehrschichtsystem
Mikrosystemtechnik
Sputtern
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-132820
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-132820
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/13282/Dissertation_Joerg_Braeuer.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/13282/signatur.txt.asc

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-132820
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-132820
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/13282/Dissertation_Joerg_Braeuer.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/13282/signatur.txt.asc

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