Ordnungsreduktion in der Mikrosystemtechnik

Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Methode der modalen Superposition als Ordnungsreduktionsverfahren in der Mikrosystemtechnik. Typische Anwendungsgebiete sind Inertialsensoren und dabei im Besonderen Drehratensensoren, für die die Simulation von zeitabhängigen Phänomenen von entscheidender...

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Bibliographic Details
Main Author:	Gugel, Denis
Other Authors:	TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Format:	Doctoral Thesis
Language:	deu
Published:	Universitätsbibliothek Chemnitz 2010
Subjects:	Angular Rate Sensor Microelectromechanical Systems (MEMS) Modal Superposition Modale Superposition Reduced Order Modeling System Simulation Systemsimulation ddc:600 ddc:620 Drehratensensor MEMS Ordnungsreduktion
Online Access:	http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-201001091 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-201001091 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/6033/data/gugel.pdf http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/6033/20100109.txt

by Gugel, Denis
Published 2010

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Doctoral Thesis

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