Das Konzept des effektiven Indenters für die Ermittlung des Elastizitätsmoduls und der Fließgrenze dünner Schichten

Das Konzept des effektiven Indenters für die Ermittlung des Elastizitätsmoduls und der Fließgrenze dünner Schichten

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Nanoindentations-Messungen haben in den letzten Jahrzehnten als Verfahren zur Ermittlung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten stark an Bedeutung gewonnen. Für die Gewinnung eines tiefergreifenden Verständnisses des mechanischen Verhaltens dieser Schichten ist die Kenntnis des Elastizitätsmodu...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Herrmann, Matthias
Other Authors: TU Chemnitz, Fakultät für Naturwissenschaften
Format: Doctoral Thesis
Language:deu
Published: Universitätsbibliothek Chemnitz 2010
Subjects:
Constraint-Faktor
Erweiterter-Hertzscher-Ansatz
Nanoindentation
dünne Schichten
effektiver Indenter
poröse Low-k-Dielektrika
von-Mises-Spannung
ddc:530
Elastizitätsmodul
Finite-Elemente-Methode
Fließgrenze
Härte
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-201000910
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-201000910
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/6016/data/Diss_MHerrmann.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/6016/20100091.txt

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