Dynamic parameter identification techniques and test structures for microsystems characterization on wafer level

Dynamic parameter identification techniques and test structures for microsystems characterization on wafer level

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In der vorliegenden Arbeit wird eine Methode zur Charakterisierung von Mikrosystemen mit beweglichen Komponenten dargestellt. Sie erlaubt, funktionsrelevante Parameter und deren Schwankungen produktionsbegleitend auf Waferlevel zu ermitteln. Dabei wird vorausgesetzt, dass die Sollform der Struktur u...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Shaporin, Alexey
Other Authors: TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Format: Doctoral Thesis
Language:English
Published: Universitätsbibliothek Chemnitz 2010
Subjects:
Eigenfrequencies
FEM
Laser-Doppler-Vibrometry
measurement technique
process tolerances
quality control
test structures
ddc:000
ddc:500
ddc:530
ddc:600
ddc:620
MEMS
Messtechnik
Mikrosystemtechnik
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200901902
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200901902
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5911/data/shaporin.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5911/20090190.txt

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200901902
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200901902
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5911/data/shaporin.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5911/20090190.txt

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