Lösung von Randintegralgleichungen zur Bestimmung der Kapazitätsmatrix von Elektrodenanordnungen mittels H -Arithmetik
Die Mikrosystemtechnik entwickelt sehr kleine Sensoren und Aktuatoren, deren Größe wie der Name schon sagt in Mikrometern gemessen werden kann. Die meist aus Silizium gefertigten Bauteile werden durch Dotierung elektrisch leitfähig. Die so erzeugten Elektroden können nun mittels elektrostatischer Kr...
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| Format: | Dissertation |
| Language: | deu |
| Published: |
Universitätsbibliothek Chemnitz
2008
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200801388 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200801388 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5656/data/DA_LoesungvonRandintegralgleichungen2.pdf http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/5656/20080138.txt |