Abscheidung von SiC und SiC + Si auf Kohlenstoffsubstraten und deren chemische Oberflaechenmodifizierung

• Main Author: Neuhaeuser, Jens
• Other Authors: TU Chemnitz, Fakultät für Naturwissenschaften
• Format: Doctoral Thesis
• Language: deu
• Published: Universitätsbibliothek Chemnitz 1997
• Subjects: Methyltrichlorsilan; Coabscheidung von Si; SiC; Thermische CVD; Nitridierung; Oberflaechenmodifizierung; Selektive Hochtemperaturreaktionen; ddc:660; ddc:600
• Online Access: http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700458; http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700458; http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/top.html; http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/19970045.txt; http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/kap1_2a.ps; http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/kap3.ps; http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/kap4b.ps; http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/kap51_53.ps; http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/kap54a.ps; http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/kap6.ps; http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4083/kap7_end.ps

Systematische Untersuchungen zur Abscheidung von Siliciumcarbid und Siliciumcarbid mit coabgeschiedenem Silicium auf Kohlenstoffsubstraten werden in dieser Arbeit vorgestellt. Die Abscheidung erfolgte mittels thermischer CVD in einer CH3SiCl3-H2-Ar-Atmosphaere. Dabei koennen neue Zusammenhaenge zwischen den Schichteigenschaften, wie chemische Zusammensetzung und Struktur, und den Beschichtungsparametern gewonnen werden. In einem zweiten Schritt kann das coabgeschiedene Silicium durch eine thermische Nitridierung in Siliciumnitrid umgewandelt werden. Bei dieser Reaktion reagiert auch die Siliciumcarbidschicht zu Siliciumnitrid. Ueber den Umweg des Titanium-Einbaus in das SiC + Si-Schichtsystem - dabei bilden sich bei der Beschichtungstemperatur Titaniumsilicide - konnte eine Mischschicht angeboten werden, die das coabgeschiedene Silicium selektiv in Siliciumnitrid umwandelt.