Struktur- und Lumineszenzuntersuchungen an unterschiedlich praeparierten, modifizierten und strukturierten nanoporoesen Si-Schichten.

• Main Author: Cichos, Anna
• Other Authors: TU Chemnitz, Fakultät für Naturwissenschaften
• Format: Doctoral Thesis
• Language: English
• Published: Universitätsbibliothek Chemnitz 1997
• Subjects: ddc:530
• Online Access: http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700205; http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700205; http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4060/arbeit1.pdf; http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4060/arbeit1.dvi; http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4060/19970020.txt

Die vorliegende Arbeit beschreibt die Herstellung, Strukturierung und Modifizierung von poroesem Silizium. Es wird der Mechanismus der Lumineszenz in poroesem Silizium und der Einfluss von Herstellungsparametern und einer Dotierung mit Laserfarbstoffen auf die optischen Eigenschaften von poroesem Silizium untersucht. Fuer die optische Charakterisierung wurden Photolumineszenz-, Photolumineszenzanregungs- und Kathodolumineszenzspektren aufgenommen. Weiterhin werden Methoden zur Erzeugung von poroesen Mikrostrukturen mit Hilfe eines ECSTM sowie zum Schreiben von optischen Mustern in poroesem Silizium durch einen Elektronenstrahl vorgestellt. Strukturelle Untersuchungen wurden mit einem SEM und einem TEM durchgefuehrt.