Untersuchungen zum Reaktionsverhalten kristalliner Siliziumoberflächen in HF-basierten Ätzlösungen
Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der grundlegenden Untersuchung von Reaktionsmustern kristalliner Si-Oberflächen in HF-basierten Lösungen. Ausgehend von den industriell genutzten HF-HNO3-H2O-Gemischen wurden wisher wenig untersuchte HF/HNO3-Konzentrationsverhältnisse, die durch gelöste Sticko...
| Main Author: | |
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| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | deu |
| Published: |
Technische Universitaet Bergakademie Freiberg Universitaetsbibliothek "Georgius Agricola"
2010
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:105-qucosa-27118 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:105-qucosa-27118 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/2711/Dissertation%20Sebastian%20Patzig-Klein.pdf |