Elektrische und mikrostrukturelle Effekte in hochdotiertem 6H-SiC nach Ionenimplantation

Elektrische und mikrostrukturelle Effekte in hochdotiertem 6H-SiC nach Ionenimplantation

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Bibliographic Details
Main Author:	Wirth, Hans
Language:	German
Published:	Forschungszentrum Rossendorf 2010
Online Access:	http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-30566 https://hzdr.qucosa.de/id/qucosa%3A21883 https://hzdr.qucosa.de/api/qucosa%3A21883/attachment/ATT-0/

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