Elektrische und mikrostrukturelle Effekte in hochdotiertem 6H-SiC nach Ionenimplantation
| Main Author: | |
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| Language: | German |
| Published: |
Forschungszentrum Rossendorf
2010
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| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-30566 https://hzdr.qucosa.de/id/qucosa%3A21883 https://hzdr.qucosa.de/api/qucosa%3A21883/attachment/ATT-0/ |