Integrierte Hochvolt-Ansteuerelektronik für Mikroaktoren mit elektrostatischem Antrieb

Integrierte Hochvolt-Ansteuerelektronik für Mikroaktoren mit elektrostatischem Antrieb

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Die vorliegende Arbeit behandelt integrierte Hochvolt-Schaltungen für die Ansteuerung elektrostatisch arbeitender Mikroaktoren und Mikroaktorarrays. Im Besonderen wird auf die Gesichtspunkte der Treiberschaltungen von Torsionsspiegelarrays eingegangen. Es werden verschiedene Verstärkerbetriebsarten...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Heinz, Steffen
Other Authors: Ebest, Gunter
Format: Doctoral Thesis
Language:German
Published: 2006
Subjects:
info:eu-repo/classification/ddc/620
ddc:620
Aktor
Ansteuerung
Integrierte Schaltung
Hochvolt-Elektronik
Hochvolt-Verstärker
Hysteresis Puls Width Modulation
Level-Shifter
Mikroaktorarray
Puls Width Modulation
Silicon On Insulator
Systemintegration
Torsionsspiegel
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200601284
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A18567
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A18567/attachment/ATT-0/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A18567/attachment/ATT-1/
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