Elektrochemische Metallabscheidung mit Kapillarsonden

Es wird ein Verfahren zur lokalisierten elektrochemischen Abscheidung metallischer Strukturen aus Kapillarsonden vorgestellt. Der experimentelle Aufbau, die Herstellung der Sonden, das Arbeiten im Nahfeld der Probe (Scherkraft-Abstandsdetektion)sowie die verschiedenen Beschaltungmöglichkeiten...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Müller, Anne-Dorothea
Other Authors: Technische Universität Chemnitz
Format: Doctoral Thesis
Language:German
Published: 2002
Subjects:
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200200103
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