Anwendungen der Elektronen-Energieverlust-Spektroskopie in der Materialwissenschaft
Es werden die physikalischen Grundlagen zur inelastischen Streuung mittelschneller Elektronen im Hinblick auf die Untersuchung des Energieverlustes beschrieben. Die instrumentellen Grundlagen der Energieverlust-Spektroskopie unter besonderer Berücksichtigung des Einsatzes in Transmissionselektron...
| Summary: | Es werden die physikalischen Grundlagen zur inelastischen Streuung mittelschneller
Elektronen im Hinblick auf die Untersuchung des Energieverlustes beschrieben.
Die instrumentellen Grundlagen der Energieverlust-Spektroskopie unter besonderer
Berücksichtigung des Einsatzes in Transmissionselektronenmikroskopen werden erläutert.
Der Einfluß des erfaßsten Streuwinkelbereichs wird diskutiert. Es werden Möglichkeiten
zur Auswertung von Energieverlustmessungen im Bereich der Interbandübergangs- und
Plasmonanregungen sowie im Bereich der Anregung von tieferliegenden (Rumpf-)Zuständen
angegeben. Zur Anwendung der Elektronen-Energieverlust-Spektroskopie werden einige
Beispiele angeführt. Von Messungen an ionengestützt abgeschiedenen Kohlenstoff- und
Kohlenstoff-Stickstoff-Schichten werden Aussagen zur elektronischen und atomaren
Struktur abgeleitet. Diese Ergebnisse werden unter Berücksichtigung relevanter
Strukturmodelle und Abscheideparameter diskutiert. Aus Untersuchungen von
Bornitridschichten wird eine vertikale Schichtung von kubischem Bornitrid über
hexagonal koordiniertem verifiziert. Die Streuphase des bei der Ionisation des
Al-1s-Zustandes entstehenden Sekundärelektrons bei der Rückstreuung an den nächsten
Nachbarn wird durch Untersuchung der kantenfernen Feinstruktur bestimmt. Weitere
Untersuchungen kantennaher Feinstrukturen an einer amorphen SiCrAl-Schicht sowie an
Kohlenstoffschichten werden vorgestellt. Mögliche Einflüsse kovalenter Bindungen auf
die Ergebnisse werden dabei diskutiert. Schließlich werden räumlich hochauflösende
Energieverlustmessungen vorgestellt, die zum Nachweis etwa 2 nm dicker
Vanadiumoxidschichten auf Rutilkristalliten führten. |
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