Charakterisierung reaktiver Prozesse bei der katodischen Vakuumbogenverdampfung

Charakterisierung reaktiver Prozesse bei der katodischen Vakuumbogenverdampfung

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In der vorliegenden Arbeit werden die waehrend der reaktiven Vakuumbogenverdampfung ablaufenden Prozesse untersucht und eine modellmaessige Beschreibung des Gesamtprozesses entwickelt. Das Verfahren wird zur Herstellung von duennen Schichten zahlreicher chemischer Verbindungen, insbesondere von...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Kuehn, Michael
Other Authors: Technische Universität Chemnitz
Format: Doctoral Thesis
Language:German
Published: 1997
Subjects:
info:eu-repo/classification/ddc/530
ddc:530
Zirkonium
Chrom
Titan
optische Emissionsspektroskopie
Plasmadiagnostikverfahren
Metalldampfplasma
Katodenbrennfleck
Vakuumbogenverdampfung
Hartstoffschichten
physikalische Schichtabscheidung
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700469
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A17375
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17375/attachment/ATT-0/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17375/attachment/ATT-1/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17375/attachment/ATT-2/
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