Charakterisierung reaktiver Prozesse bei der katodischen Vakuumbogenverdampfung
In der vorliegenden Arbeit werden die waehrend der reaktiven Vakuumbogenverdampfung ablaufenden Prozesse untersucht und eine modellmaessige Beschreibung des Gesamtprozesses entwickelt. Das Verfahren wird zur Herstellung von duennen Schichten zahlreicher chemischer Verbindungen, insbesondere von...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Published: |
1997
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199700469 https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A17375 https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17375/attachment/ATT-0/ https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17375/attachment/ATT-1/ https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17375/attachment/ATT-2/ |