Ecriture de motifs périodiques submicrométriques sur films TiO2 sol-gel par lithographie interférométrique dynamique sur de grandes surfaces

• Main Author: Gâté, Valentin
• Language: fra
• Published: Université Jean Monnet - Saint-Etienne 2013
• Subjects: [SPI:OPTI] Engineering Sciences/Optics / Photonic; [SPI:OPTI] Sciences de l'ingénieur/Optique / photonique; Réseau de diffraction; Lithographie; Sol-gel; TiO2
• Online Access: http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-01073314; http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/01/07/33/14/PDF/These-Gate-Valentin-2013.pdf

Cette thèse présente l'écriture de motifs périodiques 1D ou 2D, sur des films sol-gel réalisés par lithographie interférométrique dynamique. Elle a pour objectif la fabrication d'éléments optiques diffractifs dont les propriétés sont utilisées dans le traitement de la lumière visible et du proche infrarouge. Les outils technologiques compatibles nécessaires à l'obtention de ces éléments optiques ont été développés durant la thèse en combinant des matériaux fonctionnels, comme le TiO2, apportés par la voie sol-gel à une technique de lithographie permettant une microstructuration directe sur de grande surface. Ces deux technologies ont été transférées du laboratoire à un équipement semi-industriel avec succès. Cette étude a été guidée par une application des réseaux de diffraction aux modules solaires photovoltaïques. Un démonstrateur de module à déflecteurs diffractant, permettant d'augmenter le rendement global du module, a été produit et testé durant la thèse : les résultats ont été comparés aux simulations effectuées en amont