Imagerie tridimensionnelle nanométrique de matériaux et dispositifs à semi-conducteurs par tomographie électronique
Ces travaux de doctorat concernent le développement de la tomographie électronique appliquée à la nano-caractérisation tridimensionnelle de dispositifs à semi-conducteurs et de matériaux pour la micro et la nanoélectronique. Les contributions les plus significatives de ces travaux sont (i) l'ex...
| Main Author: | |
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| Language: | fra |
| Published: |
Université de Grenoble
2013
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00952978 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/95/29/78/PDF/36904_HABERFEHLNER_2013_archivage.pdf |