Développement de capteurs intégrés pour micropompes MEMS : applications biomédicales

• Main Author: Salette, Arnaud
• Language: fra
• Published: Université de Grenoble 2012
• Subjects: [SPI:OTHER] Engineering Sciences/Other; [SPI:OTHER] Sciences de l'ingénieur/Autre; Capteurs; Microsystèmes; Microélectronique; Biomédical
• Online Access: http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00952312; http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/95/23/12/PDF/30076_SALETTE_2012_archivage.pdf

Les Dispositifs Médicaux d'Injection (DMI) se développent de plus en plus. De nouveaux dispositifs apportent des innovations en terme de performances et d'utilisation par rapport aux seringues classiques. Le DMI développé par Eveon est un dispositif bio-inspiré possédant des capteurs, une micropompe, un flacon et une aiguille. Il permet une injection automatique, précise au microlitre garantissant une faible perte de liquide médicamenteux grâce aux techniques de miniaturisation utilisées dans la fabrication des microsystèmes. En effet, une micropompe à membrane en silicium intégrant des capteurs a été réalisée par des procédés issus de la microélectronique. Deux types d'actionneurs ont été couplés à la membrane : un actionneur bimétallique intégré et un actionneur piezoélectrique externe. Dans le cas de l'actionneur bimétallique, des thermo-résistances ont été conçues, fabriquées et caractérisées pour permettre de mesurer le profil thermique de la membrane lors de l'actionnement avec une erreur de 5%. Dans le cas de l'actionneur piezoélectrique externe, des piezorésistances ont été intégrées selon l'axe radial de la membrane afin de contrôler le profil de contraintes dans la membrane, asservir l'actionneur en fonction de la contre-pression et maximiser les caractéristiques de la pompe. Afin d'assurer la délivrance d'une dose précise de médicament, un capteur de débit est intégré dans les canaux microfluidiques de la micropompe. Ce capteur innovant permet de détecter des débits de liquide dans la gamme spécifiée par les dispositifs médicaux d'injection, à savoir une plage de débit allant de 0.5mL/min à 4mL/min.