Mécanismes de collage et de transfert de films monocristallins dans des structures à couches de polymères

Les matériaux polymères sont à l'heure actuelle peu considérés dans le vaste domaine des micro et nano technologies. Ils présentent toutefois certaines propriétés remarquables en comparaison des matériaux traditionnels de la microélectronique. Par exemple leur déformabilité et leur légèreté per...

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Bibliographic Details
Main Author: Argoud, Maxime
Language:fra
Published: Université de Grenoble 2012
Subjects:
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00848111
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/84/81/11/PDF/23969_ARGOUD_2012_archivage.pdf