Mécanismes de collage et de transfert de films monocristallins dans des structures à couches de polymères
Les matériaux polymères sont à l'heure actuelle peu considérés dans le vaste domaine des micro et nano technologies. Ils présentent toutefois certaines propriétés remarquables en comparaison des matériaux traditionnels de la microélectronique. Par exemple leur déformabilité et leur légèreté per...
Main Author: | Argoud, Maxime |
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Language: | fra |
Published: |
Université de Grenoble
2012
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Subjects: | |
Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00848111 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/84/81/11/PDF/23969_ARGOUD_2012_archivage.pdf |
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