Capteurs Interférométrique et Ellipsométrique : Application à la Nanométrologie et à la Balance du Watt Française
La première partie de ce manuscrit (chapitres 1 à 3) regroupe l'ensemble de mes travaux relatifs à la métrologie dimensionnelle à l'échelle du nanomètre. Après avoir donné une vue générale de l'instrumentation interférométrique utilisée dans ce domaine et montré leurs limites, je prés...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université de Versailles-Saint Quentin en Yvelines
2008
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00830892 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/83/08/92/PDF/Version_CorrigA_e_ThA_se_Karim.pdf |