Capteurs Interférométrique et Ellipsométrique : Application à la Nanométrologie et à la Balance du Watt Française

La première partie de ce manuscrit (chapitres 1 à 3) regroupe l'ensemble de mes travaux relatifs à la métrologie dimensionnelle à l'échelle du nanomètre. Après avoir donné une vue générale de l'instrumentation interférométrique utilisée dans ce domaine et montré leurs limites, je prés...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Ouédraogo, Karim
Language:FRE
Published: Université de Versailles-Saint Quentin en Yvelines 2008
Subjects:
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00830892
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/83/08/92/PDF/Version_CorrigA_e_ThA_se_Karim.pdf
id ndltd-CCSD-oai-tel.archives-ouvertes.fr-tel-00830892
record_format oai_dc
spelling ndltd-CCSD-oai-tel.archives-ouvertes.fr-tel-008308922013-06-07T03:02:36Z http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00830892 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/83/08/92/PDF/Version_CorrigA_e_ThA_se_Karim.pdf Capteurs Interférométrique et Ellipsométrique : Application à la Nanométrologie et à la Balance du Watt Française Ouédraogo, Karim [PHYS:PHYS:PHYS_OPTICS] Physics/Physics/Optics Nanopositionnement Interférométrie Ellipsométrie Métrologie Balance du watt La première partie de ce manuscrit (chapitres 1 à 3) regroupe l'ensemble de mes travaux relatifs à la métrologie dimensionnelle à l'échelle du nanomètre. Après avoir donné une vue générale de l'instrumentation interférométrique utilisée dans ce domaine et montré leurs limites, je présente la réalisation d'un interféromètre elllipsométrique et d'un lambdamètre optique. Les résultats expérimentaux ont montré la possibilité d'atteindre une résolution de 10 pm sur une étendue de mesures macroscopique pour l'interféromètre et une exactitude de 10⁻⁶ en valeur relative sur la longueur d'onde avec notre lambdamètre pour un déplacement du miroir mobile de seulement 4 μm au lieu de 150 mm pour le schéma conventionnel. La seconde partie du manuscrit (chapitres 4 à 6) regroupe l'ensemble de mes travaux relatifs à la métrologie des masses. Après une description du projet national de la Balance du Watt dont l'objectif vise une redéfinition du Kilogramme, je reporte les travaux portant sur la réalisation d'un capteur polarimétrique sensible à la direction radiale du champ magnétique de l'aimant permanent composant la balance du watt du LNME et d'un inclinomètre interférométrique pour la matérialisation de l'axe gravitationnel terrestre. 2008-06-27 FRE PhD thesis Université de Versailles-Saint Quentin en Yvelines
collection NDLTD
language FRE
sources NDLTD
topic [PHYS:PHYS:PHYS_OPTICS] Physics/Physics/Optics
Nanopositionnement
Interférométrie
Ellipsométrie
Métrologie
Balance du watt
spellingShingle [PHYS:PHYS:PHYS_OPTICS] Physics/Physics/Optics
Nanopositionnement
Interférométrie
Ellipsométrie
Métrologie
Balance du watt
Ouédraogo, Karim
Capteurs Interférométrique et Ellipsométrique : Application à la Nanométrologie et à la Balance du Watt Française
description La première partie de ce manuscrit (chapitres 1 à 3) regroupe l'ensemble de mes travaux relatifs à la métrologie dimensionnelle à l'échelle du nanomètre. Après avoir donné une vue générale de l'instrumentation interférométrique utilisée dans ce domaine et montré leurs limites, je présente la réalisation d'un interféromètre elllipsométrique et d'un lambdamètre optique. Les résultats expérimentaux ont montré la possibilité d'atteindre une résolution de 10 pm sur une étendue de mesures macroscopique pour l'interféromètre et une exactitude de 10⁻⁶ en valeur relative sur la longueur d'onde avec notre lambdamètre pour un déplacement du miroir mobile de seulement 4 μm au lieu de 150 mm pour le schéma conventionnel. La seconde partie du manuscrit (chapitres 4 à 6) regroupe l'ensemble de mes travaux relatifs à la métrologie des masses. Après une description du projet national de la Balance du Watt dont l'objectif vise une redéfinition du Kilogramme, je reporte les travaux portant sur la réalisation d'un capteur polarimétrique sensible à la direction radiale du champ magnétique de l'aimant permanent composant la balance du watt du LNME et d'un inclinomètre interférométrique pour la matérialisation de l'axe gravitationnel terrestre.
author Ouédraogo, Karim
author_facet Ouédraogo, Karim
author_sort Ouédraogo, Karim
title Capteurs Interférométrique et Ellipsométrique : Application à la Nanométrologie et à la Balance du Watt Française
title_short Capteurs Interférométrique et Ellipsométrique : Application à la Nanométrologie et à la Balance du Watt Française
title_full Capteurs Interférométrique et Ellipsométrique : Application à la Nanométrologie et à la Balance du Watt Française
title_fullStr Capteurs Interférométrique et Ellipsométrique : Application à la Nanométrologie et à la Balance du Watt Française
title_full_unstemmed Capteurs Interférométrique et Ellipsométrique : Application à la Nanométrologie et à la Balance du Watt Française
title_sort capteurs interférométrique et ellipsométrique : application à la nanométrologie et à la balance du watt française
publisher Université de Versailles-Saint Quentin en Yvelines
publishDate 2008
url http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00830892
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/83/08/92/PDF/Version_CorrigA_e_ThA_se_Karim.pdf
work_keys_str_mv AT ouedraogokarim capteursinterferometriqueetellipsometriqueapplicationalananometrologieetalabalanceduwattfrancaise
_version_ 1716588287993315328