Architecture système et conception électronique de réseaux de capteurs de masse à partir de micro et nanorésonateurs.

• Main Author: Arndt, Grégory
• Language: English
• Published: Supélec 2011
• Subjects: [SPI:OTHER] Engineering Sciences/Other; [SPI:OTHER] Sciences de l'ingénieur/Autre; MEMS; NEMS; Résonateur; Oscillateur; Architecture; Electronique; Modélisation; Réalisation
• Online Access: http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00822423; http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/82/24/23/PDF/ARNDT_Gregory_Manuscrit.pdf

Le sujet de thèse porte sur des micro/nanorésonateurs ainsi que leurs électroniques de lecture. Les composants mécaniques sont utilisés pour mesurer des masses inférieures à l'attogramme (10-18 g) ou de très faibles concentrations de gaz. Ces composants peuvent ensuite être mis en réseau afin de réaliser des spectromètres de masse ou des détecteurs de gaz. Afin d'atteindre les résolutions nécessaires, il a été choisi d'utiliser une détection harmonique de résonance détectant les variations de la fréquence de résonance d'une nanostructure mécanique. Les dimensions du résonateur sont réduites afin d'augmenter sensibilité en masse, cependant le niveau du signal électrique en sortie du composant est également réduit. Ce faible signal nécessite donc de concevoir de nouvelles transductions électromécaniques ainsi que des architectures électroniques qui minimisent le bruit, les couplages parasites et qui peuvent être mise en réseau.