Résonateurs à haute fréquence à ondes de volume en réalisatin MEMS sur tranche silicium

Résonateurs à haute fréquence à ondes de volume en réalisatin MEMS sur tranche silicium

Le domaine des résonateurs MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) est aujourd'hui le siège de diverses compétitions entre les producteurs afin d'améliorer les performances en terme de miniaturisation, intégrabilité, coûts de production etc. Ce travail de thèse s'inscrit dans un proje...

Full description

Bibliographic Details
Main Author:	Ivan, Michaela
Language:	FRE
Published:	Université de Franche-Comté 2012
Subjects:	[SPI:TRON] Engineering Sciences/Electronics MEMS résonateur à onde de volume excitation électrostatique mode d'extension compression mode de flexion confinement de l'énergie oscillateur capteur
Online Access:	http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00803165 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/80/31/65/PDF/corpul_tezei-completv9.9.pdf

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