Etude de micropoutres sérigraphiées pour des applications capteurs
Dans cette thèse, des structures MEMS de type micropoutre ont été conçues pour des applications capteurs. Un procédé de fabrication alternatif au silicium, associant la technique de sérigraphie à l'utilisation d'une couche sacrificielle (SrCO3), a été utilisé pour la réalisation de micropo...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université Sciences et Technologies - Bordeaux I
2011
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00671386 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/67/13/86/PDF/these_R_LAKHMI.pdf |
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