Étude des mécanismes de formation de phases dans des films minces du système ternaire Al-Cu-Fe

• Main Author: Haidara, Fanta
• Language: FRE
• Published: Université Paul Cézanne - Aix-Marseille III 2011
• Subjects: [CHIM:MATE] Chemical Sciences/Material chemistry; Films minces; Formation de phases; Al-Cu; Al-Fe; Al-Cu-Fe; Diffraction des Rayons X in situ; Résistance de surface; Analyse enthalpique Différentielle
• Online Access: http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00647911; http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/64/79/11/PDF/these_de_Fanta_Haidara.pdf

Les mécanismes de formation de phases dans des films minces du système ternaire Al-Cu-Fe et des systèmes binaires Al-Cu, Al-Fe et Cu-Fe ont été étudiés. Dans chacun des systèmes, plusieurs échantillons avec des compositions distinctes ont été préparés par pulvérisation cathodique. Des couches d'aluminium, de cuivre et de fer ont été déposées séquentiellement sur des substrats de silicium oxydé et ont été traités thermiquement par différentes méthodes puis caractérisés. Des mesures de diffraction de rayons X et de résistivité in-situ ont été effectuées pour suivre la formation des phases. Des recuits thermiques suivis de trempe ont été réalisés et les échantillons ont été caractérisés par diffraction des rayons X. L'analyse enthalpique différentielle a également été utilisée ainsi que des mesures simultanées in-situ de résistivité et de diffraction des rayons X. L'ensemble des résultats obtenus nous a permis de proposer des mécanismes de formation de phases pour chacun des échantillons étudiés et en utilisant des modèles théoriques de croissance de phases nous avons pu déterminer des données cinétiques sur la formation de phases dans ces films.