Apport de la microscopie électronique en transmission à l'étude des mémoires non volatiles de nouvelle génération
Les progrès de la microélectronique imposent de faire évoluer les mémoires vers des dispositifs rapide et à haute densité d'intégration. Cependant, l'obtention de produits fiables passe en premier lieu par le développement des procédés de fabrication, la compréhension des problèmes de fiab...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université du Sud Toulon Var
2009
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00646295 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/64/62/95/PDF/Manuscrit_Final-AD.pdf |