Modélisation d'une source d'ions à effet Hall pour des applications de traitement de surface
Dans les sources d'ions de type EHIS " End-Hall Ion Source " un faisceau ionique est extrait d'un plasma magnétisé sans l'utilisation d'un système de grilles d'extraction. Les sources EHIS sont essentiellement utilisées dans des procédés de traitement de surface. D...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université Paul Sabatier - Toulouse III
2011
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00641383 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/64/13/83/PDF/thA_se_oudini.pdf |