Les ions émis de la surface : messagers du processus initial de la nano-structuration

• Main Author: Alzaher, Ibrahim
• Language: FRE
• Published: Université de Caen 2011
• Subjects: [PHYS] Physics; Ions lourds; Electrons de faible energie-diffraction; Microscopie tunnel a balayage; Spectrométrie de masse des ions secondaires; Oxyde de titane; Graphite; Silicium cristallisé; Emission ionique secondaire
• Online Access: http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00637223; http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/63/72/23/PDF/Les_ions_A_mis_de_la_surface_messagers_du_processus_initial_de_la_nano-structuration.pdf

Lorsqu'un ion projectile inertagit avec une surface, il dépose son énergie tout au long de son trajet. L'énergie déposée conduit à la création d'endommagements et à l'émission de particules secondaires, neutres et chargées. Dans cette thèse, nous avons étudié l'endommagement de surfaces cristallines induit par irradiation aux ions lents et rapides. Nous avons également étudié la pulvérisation d'ions secondaires durant l'irradiation aux ions rapides. Dans le cas d'irradiation aux ions lents multichargés, nous avons déterminé les sections efficaces d'endommagement par ion incident sur les surfaces cristallines de TiO2 et de graphite. Nous avons mis en évidence que l'énergie potentielle du projectile joue un rôle improtant dans l'endommagement de la surface. Par contre, l'étude d'endommagement surfacique du silicium cristallin s'est révelé insensible à l'irradiation aux ions (Xe, Ec = 0,92 MeV), où la perte d'énergie électronique est 12 keV/nm. L'efficacité maximale pour qu'un ion produise une modification à la surface est 0,3 %. Par irradiation aux ions rapides, l'émission d'ions de CaF+ par rapport à l'émission de Ca+ est plus grande dans le cas d'irradiation d'un cristal massif que dans le cas de couches minces de CaF2.