Synthese de couches minces resistives par pulverisation cathodique magnetron pour l'elaboration de resistances etalons calculables en courant alternatif

L'élaboration de résistances calculables basées sur des dépôts de couches métalliques ultra minces s'inscrit dans un objectif général d'amélioration des connaissances des constantes fondamentales de structure fine , de von Klitzing RK, et Josephson KJ qui constitueront probablement l...

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Bibliographic Details
Main Author: Morilhat, Alexandre
Language:FRE
Published: Université de Technologie de Belfort-Montbeliard 2011
Subjects:
PVD
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00607044
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/60/70/44/PDF/Morilhat_-_Alexandre_-_These_-_UTBM.pdf