Couches minces amorphes d'ITO : caractérisation, structure, évolution et fonctionnalisation sous rayonnements UV.
L'oxyde d'indium, transparent dans le domaine du visible, peut devenir conducteur électrique par création de lacunes d'oxygène et/ou par dopage à l'étain (ITO). Déposé en couches minces par pulvérisation cathodique RF à température ambiante, il est compatible avec des supports or...
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Language: | FRE |
Published: |
Université Rennes 1
2011
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Subjects: | |
Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00567155 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/56/71/55/PDF/ThA_se_G_Legeay.pdf |