Couches minces amorphes d'ITO : caractérisation, structure, évolution et fonctionnalisation sous rayonnements UV.

• Main Author: Legeay, Gérard
• Language: FRE
• Published: Université Rennes 1 2011
• Subjects: [PHYS:COND] Physics/Condensed Matter; [SPI:NANO] Engineering Sciences/Micro and nanotechnologies/Microelectronics; oxyde d'indium-étain; couches minces; pulvérisation cathodique; matériaux amorphes; usinage par laser; cristallisation; surfaces (technologie) > analyse; surfaces (technologie) > effets du rayonnement ultraviolet; fonctionnalisation des surfaces
• Online Access: http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00567155; http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/56/71/55/PDF/ThA_se_G_Legeay.pdf

L'oxyde d'indium, transparent dans le domaine du visible, peut devenir conducteur électrique par création de lacunes d'oxygène et/ou par dopage à l'étain (ITO). Déposé en couches minces par pulvérisation cathodique RF à température ambiante, il est compatible avec des supports organiques souples. Dans une première partie, nous décrivons les méthodes de caractérisation mises en place. Nous précisons et discutons les propriétés structurales, électriques et optiques de nos couches optimisées amorphes. Leurs performances sont comparables à celles des meilleures couches polycristallines d'ITO, classiquement obtenues à température élevée. Nous examinons ensuite l'interaction de ces couches avec les rayonnements UV. Le faisceau d'un laser à excimères permet d'y transférer la géométrie désirée par ablation, sans recours à une photolithographie standard. Le recuit et la cristallisation par laser, à plus faibles fluences, sont comparés à un recuit standard au four. Nous mettons enfin en évidence le rôle du rayonnement UV dans le contrôle des réactions de surface, principalement avec l'eau. Nous présentons l'action des très faibles fluences UV sur les caractéristiques électriques des couches d'ITO.