Étude de la passivation du silicium dans des conditions d'irradiation électronique de faible énergie
L'illumination par la face arrière amincie des imageurs CMOS est une des voies étudiées pour accroître le rapport signal à bruit et ainsi la sensibilité de ce capteur. Or cette configuration est adaptée à la détection des électrons dans la gamme d'énergie [[1 ; 12 keV]. L'électron inc...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université Claude Bernard - Lyon I
2010
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00564215 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/58/25/32/PDF/TH2010_Cluzel_Romain.pdf |