Pour une approche complète de l'évaluation de fiabilité dans les microsystèmes

• Main Author: Matmat, Mohamed
• Language: FRE
• Published: INSA de Toulouse 2010
• Subjects: [SPI:NANO] Engineering Sciences/Micro and nanotechnologies/Microelectronics; MEMS; Fiabilité prédictive; Modélisation analytique; Modélisation aux éléments finis; Micro-actionneur électrothermique; Micro-commutateur RF; Actionnement électrostatique; Chargement diélectrique; Prototypage virtuel (Matlab & Saber)
• Online Access: http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00538717; http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/53/87/17/PDF/ThA_se_MATMAT_Mohamed.pdf

La complexité des microsystèmes, leur multidisciplinarité, l'hétérogénéité des matériaux utilisés et les interfaces avec l'environnement extérieur rendent difficiles l'évaluation et la maîtrise de leur fiabilité indispensables pour l'exploitation des nombreuses possibilités innovantes qu'ils offrent. L'approche que nous avons proposée dans ce travail, afin de prédire la fiabilité des microsystèmes, se fonde sur l'usage intensif de la modélisation et de la simulation, dans les conditions d'usage du microsystème (profil de mission), en associant donc l'évaluation de la fiabilité à la démarche de conception : avant d'entreprendre une modélisation fonctionnelle de type VHDL-AMS, les objectifs de fiabilité sont exprimés explicitement dans le cahier des charges du microsystème, au même titre que les objectifs plus habituels de performances. Afin de supporter nos travaux, nous avons appliqué cette démarche de prédiction de la fiabilité sur deux types de microsystèmes : - des micro-actionneurs électrothermiques. - des commutateurs RF capacitifs à actionnement électrostatique.