Développement de couches magnétiques dures pour MEMS : application à un microswitch magnétique bistable

• Main Author: Walther, Arnaud
• Language: FRE
• Published: 2007
• Subjects: [SPI:NANO] Engineering Sciences/Micro and nanotechnologies/Microelectronics; MEMS; microsystèmes magnétiques; films métalliques; aimants; NdFeB; SmCo; microtechnologies
• Online Access: http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00348109; http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/34/81/09/PDF/these-walther.pdf

Le but de ce travail de thèse est de réaliser un microswitch magnétique bistable à base d'aimants permanents. De nouveaux designs de tels microswitch ont été dessinés afin d'obtenir à la fois des forces de contact plus élevés et des courants de commutation plus faibles que les systèmes semblables existants déjà. Des logiciels de simulations magnétiques ont été utilisés afin d'évaluer le comportement statique et dynamique de ces micro relais. Des couches épaisses (>1 µm) de matériaux magnétiques durs hautes performances (NdFeB, SmCo) ont été déposées par pulvérisation cathodique triode. Cette technique de pulvérisation permet d'avoir des vitesses de dépôt élevées sur de grandes surfaces. Les conditions de dépôt et de traitements thermiques de ces couches ont été étudiés afin d'obtenir de grandes coercivités, de grandes rémanences et des textures particulières. Enfin, des briques de base technologiques ont été développées afin d'intégrer ces films magnétiques dans un process de microtechnologie et de réaliser finalement de nouveaux microsystèmes magnétiques. Ce travail est inclus dans le projet ANR Nanomag2 dont le but final est de fabriquer des micro-relais RF pour des applications spatiales.