Optimisation technologique de commutateurs MEMS RF à tenue en puissance améliorée - Application à l'élaboration d'un synthétiseur d'impédance MEMS en bande K

Optimisation technologique de commutateurs MEMS RF à tenue en puissance améliorée - Application à l'élaboration d'un synthétiseur d'impédance MEMS en bande K

Les commutateurs capacitifs MEMS (MicroElectroMechanical System) RF présentent un intérêt maintenant bien connu dans le domaine des micro-ondes pour satisfaire de nombreuses applications (spatiales, automobiles, téléphonie mobile). Ils permettent de rendre reconfigurable les modules hautes fréquence...

Full description

Bibliographic Details
Main Author:	Bordas, Chloe
Language:	fra
Published:	Université Paul Sabatier - Toulouse III 2008
Subjects:	[SPI:NANO] Engineering Sciences/Micro and nanotechnologies/Microelectronics [SPI:NANO] Sciences de l'ingénieur/Micro et nanotechnologies/Microélectronique MEMS RF Micro-ondes Millimétrique Commutateurs Développement technologique Fiabilité Tenue en puissance Thermique Couche sacrificielle Rendement de fabrication Caractérisation Tuner
Online Access:	http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00265347 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/26/53/47/PDF/version_jury5.pdf

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