ELABORATION ET CARACTERISATION DE QUELQUES DIELECTRIQUES A<br />FORTE PERMITTIVITE AVEC APPLICATION EN MICROELECTRONIQUE :<br />INFLUENCE DE LA STRUCTURE DU RESEAU SUR LEs PROPRIETES<br />ELECTRIQUES
Le travail exposé dans cette thèse cible les nouveaux matériaux susceptibles d'être intégrés dans les mémoires et les applications à base de transistors MOS. Il est divisé en trois chapitres principaux. Le premier chapitre traite des contraintes de fabrication des dispositifs. Nous abordons aus...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
2006
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00173693 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/17/36/93/PDF/These_Busani_2006.pdf |