ETUDE EXPERIMENTALE ET NUMERIQUE <br />DES PHENOMENES DE FISSURATION DANS LES INTERCONNEXIONS DE LA MICROELECTRONIQUE
Ce travail a pour objectif de mieux comprendre et maîtriser les défaillances mécaniques par fissuration liées à la réduction d'échelle des circuits intégrés appliquant la mécanique de la rupture à la microélectronique. La démarche scientifique pour discuter de l'intégrité mécanique de stru...
| Main Author: | |
|---|---|
| Language: | FRE |
| Published: |
2007
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00168451 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/16/84/51/PDF/these.pdf |