Elaboration et caractérisation de couches minces ferroélectriques pour des applications optiques

• Main Author: Cardin, Julien
• Language: fra
• Published: Université de Nantes 2004
• Subjects: [PHYS:COND] Physics/Condensed Matter; [PHYS:COND] Physique/Matière Condensée; [PHYS:PHYS:PHYS_ATOM-PH] Physics/Physics/Atomic Physics; [PHYS:PHYS:PHYS_ATOM-PH] Physique/Physique/Physique Atomique; PZT; couches minces; dispositif M-lines; indice de réfraction; guide d'onde
• Online Access: http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00090784; http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/09/07/84/PDF/thesejuliencardin.pdf

Dans l'objectif de réaliser des guides d'onde intégrés, des couches minces ferroélectriques de zirconate-titanate de plomb (PZT) ont été élaborées sur substrat de verre par dépôt chimique en solution. Un dispositif M-lines a été mis en place afin de déterminer l'indice de réfraction et l'épaisseur de ces films. Une attention particulière a été portée à l'analyse des résultats et des sources d'erreurs. Cela a conduit à la mise au point d'un critère d'indexation des modes de propagation dont l'efficacité a été prouvée par des simulations numériques. Une méthode d'optimisation a été développée permettant d'obtenir l'indice et l'épaisseur des films avec une précision relative de 10-3. La caractérisation M-lines a été utilisée pour étudier l'influence sur l'indice de réfraction de l'élaboration du PZT. Des guides d'onde linéaires et Mach-Zehnder ont été réalisés par photolithographie et gravure chimique, leur capacité à guider la lumière sur plusieurs dizaines de millimètres a été démontrée.