Technologie des composants à hétérostructures pour les têtes de réception par satellite aux longueurs d'ondes millimétriques

• Main Author: Salzenstein, Patrice
• Language: FRE
• Published: Université des Sciences et Technologie de Lille - Lille I 1996
• Subjects: [SPI:MECA] Engineering Sciences/Mechanics; [SPI:NANO] Engineering Sciences/Micro and nanotechnologies/Microelectronics; [SPI:OTHER] Engineering Sciences/Other; Hétérostructure; Semiconducteur III-V; Diodes Varactor; Guide d'onde coplanaire; Lignes de transmission; Membrane; Filtres
• Online Access: http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00077055; http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/07/78/30/PDF/1996-11-21-these-salzenstein-numerotee.pdf

Ce travail de thèse porte sur la conception, la fabrication et la caractérisation de composants non linéaires à hétérostructures d'une part, et de guides de propagation coplanaires sur membrane d'autre part.<br />Pour les dispositifs actifs, le composant développé est une hétérostructure à simple barrière qui présente des non-linéarités en capacité extrêmement marquées utilisables dans les multiplicateurs de fréquences. Par rapport aux dispositifs Schottky varactors conventionnels, les hétérostructures permettent de tirer parti de propriétés de symétrie et d'optimiser et d'optimiser au mieux les caractéristiques des courants de déplacement et de conduction. En pratique, les composants sont fabriqués à partir de multiples hétérostructures épitaxiées par jets moléculaires sur substrat InP mettant en jeu des techniques d'intégration monolithiques. Plusieurs séries d'échantillons ont été fabriquées avec pour les dernières structures des résultats à l'état de l'art, notamment avec la possibilité de moduler la capacité dans un rapport 5 en tenue en tension de plus de 6 Volt favorable aux applications de puissance. dans cette optique, nous démontrons par ailleurs la possibilité d'intégrer verticalement plusieurs composants sur une même épitaxie.<br />Pour les structures passives, elles sont constituées de lignes coplanaires déposées sur membrane de polyimide ou de nitrure de silicium. Dans ces conditions le milieu de propagation peut se comparer à l'air avec une permittivité effective très proche de celle obtenue dans l'espace libre. De telles structures ont été fabriquées en utilisant des technologies de micro-usinage de l'Arséniure de Gallium. Les résultats des caractérisations hyperfréquences sont conformes aux prédictions théoriques, avec la propagation faible perte de l'énergie électromagnétique sans dispersion dans une très large bande de fréquence. Ces études sont ensuite étendues à la conception de structures de filtrage aux fréquences millimétriques, notamment à 250 GHz.