Nitrures semiconducteurs III-V : croissance, transport électronique et applications aux transistors

• Main Author: Mouillet, Robert
• Language: FRE
• Published: Université Pierre et Marie Curie - Paris VI 2004
• Subjects: [PHYS:COND] Physics/Condensed Matter; Semiconducteurs III-V; Epitaxie par jets moléculaire; Effet Hall; Spectroscopie infrarouge; Nitrures; Transistors
• Online Access: http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00011499; http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/05/71/42/PDF/mouillet2004.pdf

Le potentiel des matériaux Ga(In,Sb)AsN pour les applications transistors est évalué. Une étude RHEED est d'abord menée en fonction de la concentration d'azote et de la température pour fixer les conditions de croissance. Ensuite, la présence de pièges électroniques dont le nombre représente environ 1% de la concentration totale d'azote est mise en évidence par la diminution du nombre d'électrons dans les couches dopées, par une résonance cyclotron supplémentaire et des plateaux de Hall décalés dans les gaz bidimensionnels. Ces pièges attribuables aux clusters d'azote provoquent une diffusion de type impuretés ionisées qui fait chuter la mobilité dès les plus faibles concentrations d'azote. Par ailleurs, on observe une forte diffusion par les phonons, et on mesure une faible augmentation de la masse. Ces propriétés conduisent à une diminution importante du gain dans les TBH malgré un abaissement très intéressant de la tension à appliquer pour obtenir un courant d'injection donné. Une partie annexe traite de phototransistors à base de GaN.